Nakon MALaba, odveli su nas u APM (Automated Precision Manufacturing) lab čija je svrha obuka osoblja, testiranje softvera prije implementacije u pravu proizvodnju i testiranje novih dijelova sistema tijekom procesa nadogradnje. U osnovi se radi o jednoj prostoriji u koju je smješten automatizirani sistem na šinama za transport wafera po raznim proizvodnim koracima. Također, u njoj su smješteni neki osnovni uređaji kao recimo stroj za sortiranje wafera ili pak "ormar" za skladištenje wafera između proizvodnih koraka.

APM je u osnovi "inteligentni" sustav koji nadzire, analizira i upravlja proizvodnim procesom od njegovog početka do kraja, a povezuje stotine alata koji čine postrojenje. APM prati stanje pojedinih wafera pomoću podataka dobivenih iz svakog pojedinog alata, a sposoban ih analizirati i uspoređivati te prema njima odrediti daljnji tijek obrade svakog wafera. Ovako automatiziran i efikasan sistem proizvodnje (koji, uzgred rečeno, postoji od 1985 godine, a trenutno nosi oznaku 3.0) omogućava AMD-u da paralelno s produkcijskim waferima u istom lancu ima i wafere na kojima se testiraju nove tehnologije.

FOSB s 25 wafera prije stavljanja u uređaj za sortiranje

Automatizirani sistem za prijenos wafera kroz cijelo postrojenje nosi ime AMHS odnosno Automated Material Handling System, a AMD ga je nabavio od tvrtke Muratec. Zanimljivo je da se radi o standardnom modelu kojeg su u AMD-u samo malo doradili i isprogramirali ga za svoje potrebe.

Uređaj za sortiranje wafera

Sirovi se waferi isporučuju zapakirani u kutije pod imenom FOSB odnosno Front Opening Shipping Box (u kojoj je dvadesetpet 300-milimetarskih wafera). Nakon toga se FOSB stavlja u uređaj za sortiranje wafera koji testira svaki pojedini wafer, označava ga i slaže u FOUP (Front Opening Unified Pod) – kutiju koja služi za transport wafera kroz postrojenje AMHS-om.

Prije nego što se waferi sortiraju, dopušta se da dođu u kontakt sa zrakom iz prostorije. Naime, prostorija za sortiranje wafera podliježe standardu čistoće I, što znači da u zraku dopuštena samo jedna čestica po kubičnom metru. U ostalim dijelovima postrojenja, izvan samih uređaja, vlada standard 100 – dakle dopušteno je 100 čestica po kubičnom metru. S druge strane, unutar svakog stroja je i dalje mikro-klima koja odgovara standardu čistoće I tako da waferi nisu kontaminirani.

AMHS u pogonu

Zanimljivo je da se waferima unutar alata rukuje pomoću nove i bolje metode pod imenom Edge Grip Technology. Robotska ruka unutar alata fiksira na par mjesta rubove wafera, što osigurava osjetno manju kontaminaciju wafera u odnosu na standardnu metodu kod koje se waferom rukuje uz pomoć vakumske sisaljke koja dolazi u kontakt s njegovom donjom stranom.

"Čiste" prostorije unutar Faba 36

Nakon što je FOUP napunjen s waferima, tehničar ga odnosi do svojevrsnog ormara za FOUP-ove, stockera. Radi se automatiziranoj polici koja može uskladištiti oko 200 FOUP-ova, a povezana je s AMHS-om. Odavde se FOUP-ovi šalju raznim alatima pomoću kojih se waferi obrađuju i na njima se stvaraju procesori.